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8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 台/千克 13% 详情
8486304100 制造平板显示器用超声波清洗装置 台/千克 13% 详情
8486303900 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 台/千克 13% 详情
8486303100 制造平板显示器用分步重复光刻机 台/千克 13% 详情
8486302900 其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 台/千克 13% 详情
8486302200 制造平板显示器用物理气相沉积装置 台/千克 13% 详情
8486302100 制造平板显示器用化学气相沉积装置 台/千克 13% 详情
8486301000 制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 台/千克 13% 详情